战略联盟,推动超快激光诱导微纳加工技术新突破
热烈祝贺苏州运达恒兴科技有限公司与国内某头部企业签署激光微纳加工项目的战略联盟协议。
为推动激光微纳制造相关研制工作,双方友好交流、深化合作,整合优势资源,进一步优化激光诱导化学蚀刻关键技术与关键工艺。
运达恒兴公司发挥技术研发优势,突破激光诱导关键技术与应用,研制更高质量高精度智能化激光诱导微纳加工设备。
激光诱导加工设备简介
【优点】
• 运动控制精度高,可达um或者nm级别
• 透明脆性材料经过激光改性后与本体材料形成高溶解度差,从而达到选择性化学蚀刻的效果。这种工艺加工质量优良并能达到大深宽比,适合密集小孔的大批量生产制造
• 激光改性和化学蚀刻工艺需要相互配合来达到最佳的加工效果
【技术指标】
• 加工效率高:>3000 hole/s
• 加工方式灵活:钻孔,盲孔,挖槽、切割
• 加工材料:玻璃、石英、蓝宝石等
• 加工形状:圆形、正方形、三角形、六边形等
• 加工质量优良:
大深宽比(最大可达50:1)
最小孔径:5um
精度:±0.3um
无崩边和热影响
【产品方案】